什么是工業(yè)顯微鏡?
??工業(yè)顯微鏡是在制造半導(dǎo)體、電子元件、液晶顯示器等時(shí)用于過程檢查和分析的顯微鏡。
為了便于數(shù)據(jù)分析,大多數(shù)工業(yè)顯微鏡都設(shè)計(jì)為允許將數(shù)碼相機(jī)或 CCD 中的圖像傳輸?shù)接?jì)算機(jī)。
工業(yè)顯微鏡的用途
工業(yè)顯微鏡用于半導(dǎo)體、電子元件等工業(yè)產(chǎn)品的制造過程檢查和分析。最常見的工業(yè)顯微鏡是金相顯微鏡,它照射光并利用反射光觀察表面。
金相顯微鏡用于觀察不透明工業(yè)產(chǎn)品的表面,例如陶瓷結(jié)構(gòu)、金屬和合金、零件的拋光表面以及電子元件。此外,它還用于磁頭、液晶和薄膜等產(chǎn)品制造過程中的開發(fā)、分析和檢查。
還可以觀察電路板上的焊點(diǎn)表面和焊縫熔深深度等細(xì)節(jié)。也用于金屬加工中鑄造、熱處理、冶金后的評(píng)價(jià)和分析。
工業(yè)顯微鏡原理
最常見的工業(yè)顯微鏡是金相顯微鏡:從上方觀察樣品的正置顯微鏡,以及從下方觀察樣品的倒置顯微鏡。正置顯微鏡是一種常見的顯微鏡。將樣品放置在物鏡下方并從物鏡上方觀察。使用倒置顯微鏡時(shí),物鏡的尖端朝上,可以從下方觀察樣品。
在正置和倒置顯微鏡中,光源都位于物鏡內(nèi)部。該光源用光照射樣品表面,并且利用來自樣品表面的反射光來觀察樣品表面的形狀。物鏡和目鏡之間夾有棱鏡或透鏡,放大并觀察從物鏡照射到樣品上并反射的光。放大倍數(shù)約為 50 倍至 1,000 倍。
用作工業(yè)顯微鏡的金相顯微鏡有多種型號(hào),具有多種功能,并且許多型號(hào)能夠使用反射照明的明場法、暗場法和微分干涉法。在使用反射照明的暗場方法中,可以看到閃亮的細(xì)小劃痕、裂紋、氣孔等,使其適合觀察樣品表面。使用反射照明的微分干涉測量法可以檢測明場方法難以檢測的細(xì)微不規(guī)則性,并且經(jīng)常用于檢查過程。
工業(yè)顯微鏡的類型
如上所述,工業(yè)顯微鏡包括正置顯微鏡和倒置顯微鏡。
1. 正置顯微鏡
一般來說,許多正置顯微鏡允許您根據(jù)照明方式選擇透射或反射,其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)系統(tǒng)易于設(shè)計(jì)。
2.倒置顯微鏡
倒置顯微鏡將觀察面朝下放置,易于使觀察面相對(duì)于光軸保持水平,常用于冶金領(lǐng)域。