?自準(zhǔn)直儀（英文：autockllimater）是一種利用光的直線性來測(cè)量被測(cè)物體微小角位移的光學(xué)裝置。

它可以非接觸式測(cè)量角度等，通常用于光學(xué)和機(jī)械系統(tǒng)中調(diào)整零件的位置和測(cè)量畸變。

自準(zhǔn)直儀的應(yīng)用

自準(zhǔn)直儀不僅用于精確的角度測(cè)量，還用于平行度、直線度、光軸、對(duì)準(zhǔn)等的檢查和調(diào)整。

1、機(jī)床床身、機(jī)器人加工設(shè)備的直線度測(cè)量

使固定有平面鏡的工作臺(tái)沿引導(dǎo)面滑動(dòng)，根據(jù)平面鏡使十字線圖像移動(dòng)的量來計(jì)算直線度。

2、光學(xué)窗口、楔面等端面平行度測(cè)量

通過發(fā)射單個(gè)激光束，可以測(cè)量?jī)蓚€(gè)同軸表面之間的平行度。玻璃板等的平行度是通過測(cè)量正面和背面兩個(gè)表面的反射光的角度差來測(cè)量的。

3. 測(cè)量垂直度

可以通過使用稱為光學(xué)方形的五角棱鏡彎曲光線來進(jìn)行測(cè)量。

4. 測(cè)量轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)角度

多面鏡用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)盤或分度盤的分割精度。

5、彈性件撓度測(cè)量

通過將反射器固定在彈性件上并用自準(zhǔn)直儀進(jìn)行觀察，可以測(cè)量微小的變化。

6. 光軸調(diào)整

如果天文望遠(yuǎn)鏡的光軸對(duì)齊，則主鏡的中心標(biāo)記將在自準(zhǔn)直儀的視場(chǎng)內(nèi)重疊多層可見。

7、光學(xué)產(chǎn)品檢驗(yàn)

測(cè)量磁盤和晶圓的翹曲度和波紋度，以及測(cè)量多角鏡的精度。

自準(zhǔn)直儀原理

自準(zhǔn)直儀測(cè)量利用激光的直線性和通過透鏡聚焦的原理。首先，主要采用半導(dǎo)體激光器作為光源，利用一次透鏡將激光轉(zhuǎn)換為平行光。該平行光穿過二次透鏡并在焦點(diǎn)處形成圖像。

在這種情況下，反射光沿著光路被半透半反鏡分離，到達(dá)CCD等光接收元件，并形成圖像。如果物體相對(duì)于照射的激光束沒有傾斜地放置，則反射光的映射將與入射光完美匹配。另一方面，如果物體傾斜，成像就會(huì)產(chǎn)生偏移，因此可以根據(jù)偏移的程度來確定偏移的角度。