| 模型 | VUM-3073F |
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| 二手燈 | 低壓紫外線燈 VUV-040/A-2.2U 4燈 |
| 照射距離 | 15毫米 |
| 照射面積 | 200寬×200深 |
| 照射時間 | 0 至 99 分 59 秒（可變） |
| 廢氣臭氧去除 | 使用臭氧分解過濾器 |
| 外形尺寸 | 580(寬)×500(深)×240(高)mm 25kg |
【新品上市】紫外線照射裝置 VUM-3073F
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這是一種非接觸裝置，在半導(dǎo)體制造工序、液晶基板制造工序等微細圖案形成工序中，對基板表面殘留的有機物照射UV，去除有機污染物。可以在不損壞基材的情況下清潔和修飾表面。 |
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