UV固化照射裝置（液晶面板制造用設備）
?適用于TFT-LCD液晶面板的貼合工藝，將液晶面板貼合所用的Seal材料，通過UV紫外線的照射在較短時間內(nèi)進行固化，從而起到了提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本的效果。
- 特征
- 主要用途
?
- 高均一性照射
- 由于基板問題變化而產(chǎn)生的變色減少。
- 省略了周邊四角的曝光
?
- Tack時間短
- 利用光學Filter對光的控制技術，
- 受損情況小，低溫處理
?
- Mask對位機能
- 能夠和Pattern進行精度較高的對位，
- 有效的曝光技術進行展開。
?
- 系統(tǒng)構成
- 設備本體
- 電源，控制面板
- 循環(huán)冷卻Unit（Lamp冷卻用）
- Mask Work冷卻用冷氣機??
?
- ODF設備（UV Curing）的構造
- 照射部
- Stage部
