超高壓UV燈【365nm／405nm／436nm】
?在與設(shè)備商之共同開發(fā)體制的背景之下、迎合設(shè)備制造廠各種需求、開發(fā)出獲得好評且值得信賴的曝光制程用UV燈。
100w～35kw等級、產(chǎn)品系列齊全，是最適合提高產(chǎn)能、并改善良品率等的光源提案。
此外、顧客新設(shè)備的開發(fā)方面，我們亦配合開發(fā)適用的燈具。?
特征：
特征：
?最適合曝光制程的紫外線波長
在紫外線波長中，USHIO的超高壓UV燈仍可有效運(yùn)用3線（436nm?405nm?365nm)波長,
是長效型、且具有穩(wěn)定放射照度的高亮度光源。
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?發(fā)揮光學(xué)系最大性能的點(diǎn)狀光源
弧形大小極接近點(diǎn)狀光源，易于集中與擴(kuò)散光學(xué)系統(tǒng)上的光，因此可以得到均勻的照度分布。
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?配合半導(dǎo)體、液晶?彩色濾光片?PDP以及印刷基板用線路成形等各種用途的燈輸出
因應(yīng)回路與類型燒付照度需求的提高、
小型（100w級）～超大型（35kw級）為止、適用各尺寸的燈具。
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?發(fā)揮現(xiàn)有設(shè)備最大性能的高照度
因應(yīng)現(xiàn)有設(shè)備Throughput提高的需求、即使僅使用高照度燈、亦可望確實(shí)提高產(chǎn)能。
※部分設(shè)備商產(chǎn)品則必須實(shí)施設(shè)備改造。
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?對應(yīng)需求波長的燈具開發(fā)
配合顧客新設(shè)備的開發(fā)，開發(fā)出最適合的燈具。詳情請洽詢京都玉崎。
用途：
?半導(dǎo)體回路形成用光源
?液晶回路形成用光源
?彩色濾光片回路形成用光源
?電漿顯示器回路形成用光源
?印刷電路板回路形成用光源
?MEMS回路形成用光源
?檢查用光源
?其他新的曝光用途等
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